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广州回收AVAGO芯片电源模块 随着采用传统2D平面制程技术的NAND Flash即将NAND Flash大厂纷纷开始采用3D堆叠制程技术来增加密度。旺宏(Macronix)在2006年提出Multi TFT(Thin Film Transistor)的堆叠NAND设计概念,同年Samsung也发表Stacked NAND堆叠式快闪存储器,2007年东芝发表BiCS,2009年东芝发表P-BiCS、三星发表TCAT、VG-NAND与VSAT,2010年旺宏发表VG TFT,2011发表PNVG TFT,同年Hynix也发表Hybrid 3D技术。2010年VLSI研讨会,旺宏公布以75纳米制程,TFT BE-SONOS制程技术装置的VG(垂直闸) 3D NAND技术。预计2012年进入55nm制程,2013年进入36nm制程,2015年进入2xnm制程,制程进度落后其他大厂甚多。
三星(Samsung)同样于2006年发表Stacked NAND,2009年进一步发表垂直通道TCAT与水平通道的VG-NAND、VSAT。2013年8月,三星发布名为V-NAND的3D NAND Flash芯片,采用基于3D CTF(Charge Trap Flash)技术和垂直堆叠单元结构,单一芯片可以集结、堆叠出128 Gb的容量,比目前20nm平面NAND Flash多两倍,可靠性、写入速度也比20nm制程NAND Flash还高。三星目前在3D-NAND Flash应用进度其他业者,V-NAND制造基地将以韩国厂与新设立的西安厂为主。其V-NAND目标直接挥军伺服器等级固态硬碟,从2013年第四季开始,陆续送样给伺服器业者或是资料中心制造商进行测试。
东芝(Toshiba)以2009年开发的BiCS—3D NAND Flash技术,从2014年季起开始小量试产,目标在2015年前顺利衔接现有1y、1z纳米技术的Flash产品。为了后续3D NAND Flash的量产铺路,东芝与新帝(SanDisk)合资的日本三重县四日市晶圆厂,期工程扩建计划预计2014年Q3完工,Q3顺利进入规模化生产。而SK海力士与美光(Micron)、英特尔(Intel)阵营,也明确宣告各自3D NAND Flash的蓝图将接棒16纳米,计划于2014年Q2送样测试,快于年底量产。
由于3D NAND Flash存储器的制造步骤、工序以及生产良率的提升,要比以往2D平面NAND Flash需要更长时间,且在应用端与主芯片及系统整合的验证流程上也相当耗时,故初期3D NAND Flash芯片将以少量生产为主,对整个移动设备与储存市场上的替代效应,在明年底以前应该还看不到。
移动设备的快闪存储器容量、速率进展
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